Jauge ionique compacte micro-usinee, et dispositifs misoc

Compact ion gauge using micromachining and misoc devices

Abstract

A solid state compact ion gauge includes an inlet, a gas ionizer, and a detector all formed within a cavity in a semiconductor substrate. The gas ionizer can be a solid state electron emitter with ion optics provided by electrodes formed in the cavity through which the cavity is evacuated by differential pumping. Preferably, the substrate is formed in two halves. The substrate halves are then bonded together after the components are provided therein.
L'invention concerne une jauge ionique compacte à semiconducteurs, qui comprend une entrée, un ioniseur de gaz et un détecteur, tous ménagés à l'intérieur d'une cavité dans un substrat semiconducteur. L'ioniseur de gaz peut être un émetteur d'électrons à semiconducteurs muni d'optiques ioniques constituées par des électrodes formées dans la cavité, par lesquelles la cavité est évacuée par pompage différentielle. De préférence, le substrat est formé de deux moitiés qui sont ensuite assemblées après que les composants y soient logés.

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Patent Citations (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    US-5386115-AJanuary 31, 1995Westinghouse Electric CorporationSolid state micro-machined mass spectrograph universal gas detection sensor
    US-5530244-AJune 25, 1996Northrop Grumman CorporationSolid state detector for sensing low energy charged particles

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